德國HEIMANN生產硅MEMS結構皮拉尼真空傳感器
  
德國HEIMANN真空傳感器HVS是微型的皮拉尼型傳感器,基于HEIMANN的MEMS技術的加熱電阻結構從而是傳感器更小,更堅固,可以封裝在TO封裝中。
芯片型號:
HVS vac03g TO-8 壓力范圍1mbar - 10-5mbar
HVS vac03k TO-39 壓力范圍1mbar - 10-5mbar
HVS vac04 TO-39(單芯片),TO-8(雙芯片) 壓力范圍1-1000mbar
訂購型號:Vac03g + Vac04 in TO8 ,Vac03g in TO8 ,Vac03k in TO39,Vac04
mit Brücke in TO39,Vac04 ohne Brücke in TO39
技術文檔,可郵件info@mcsensors.com
詢問
|